离子溅射仪

仪器名称：离子溅射仪

英文名称：Eiko IB5 Ion Coater

生产厂家：日本Eiko公司

规格型号：Eiko IB-5

购置时间：1985年

放置地点：科研四号楼807室

技术参数：

1.靶（上部电极）：材料：铂金，直径：64mm，厚度：0.12mm；

2.真空室：直径：160mm，高：120mm；

3.样品台及工作距离：固定样品台，高度手动调节(可选配旋转样品台，样品台转速可调）；

4.溅射面积： Ф50mm，最大放置；

5.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar ；

6.离子电流表： 最大电流：50mA(100mA) ；

7.最高电压： -1600（-3000）DCV 。

主要用途：

离子溅射仪主要适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。扫描电子显微镜样品其表面电阻率很高——导电性能很差，影响观测效果。在离子溅射仪中电场作用下将金属原子以漫散射的方式覆与样品表面，形成一层连续而均匀的金属膜，增加样品导电性，提高观测质量。